乙個積體電路靜電保護電路(ESD)工藝

2021-08-10 06:56:25 字數 663 閱讀 2356

前一段時間乙個朋友說他們有乙個專案,裡邊有乙個關於靜電保護esd的工藝電路.看不明白.我當時其實也是看不明白.但是後來是越看越明白了.現在和大家分享一下。也算是為高科技做了一點貢獻。

右邊的穩壓二極體起到了控制電壓的作用,當這個穩壓二極體導通時,會在其上流過乙個電流,這個電流通過下邊的電阻時,會引起下邊電阻兩邊的電壓公升高,這個時候就會使左邊的三極體的發射結電壓達到三極體的導通觸發電壓0.7v,這個時候三極體工作在放大狀態。就可以使大電流從三極體流過。這個靜電保護電路的好處有兩方面。一方面,增大了esd(靜電防護)的洩流能力,一方面降低了esd保護電路的電容。洩流能力我們從上邊的這個電路中的三極體放大就可以看出來。但是降低電容就要從下邊的工藝原理圖中看了。

穩壓二極體的穩壓電壓由n+和p+的那個pn結的參雜濃度確定。因為這裡流過的電流不用很大,所以這個pn結的面積可以做的小一點,這樣就減小了穩壓二極體的電容。進而在整個電路與單穩壓二極體的esd保護在相同的洩流能力的情況下,這個電路的整體電容會比單使用穩壓二極體的情況下小。資料上說可以小到乙個pf。

這個電路在具體的半導體工藝設計的時候,還有很多的地方要依靠設計經驗來調節,比如那個地方的離子參雜濃度,以及一些層的厚度與寬度,這些小的變化都會引起電路中的乙個或者幾個元件的引數發生很大的變化。所以在積體電路設計上,最主要的還是工藝上的設計實現,他將直接決定著你設計結果的成功與否。是乙個細活,也是乙個經驗活。

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