mems感測器的分類簡介
mems感測器介紹：mems的全稱是微型電子機械系統微機電系統。
可批量製作的將微型機構、微型感測器、微型執行器以及訊號處理和控制電路、直至介面、通訊和電源等於一體的微型器件或系統。
也可以把它理解為利用傳統的半導體工藝和材料，用微公尺技術在晶元上製造微型機械，並將其與對應電路集成為乙個整體的技術。所以它是以半導體製造技術為基礎發展起來的一種先進的製造技術平台。
mems感測器的優點：相對於傳統的機械它們的尺寸更小，最大的不超過乙個厘公尺，甚至僅僅為幾個微公尺，其厚度就更加微小。採用以矽為主的材料，電氣效能優良，矽材料的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當，密度與鋁類似，熱傳導率接近鉬和鎢。採用與積體電路（ic）類似的生成技術，可大量利用ic生產中的成熟技術、工藝，進行大批量、低成本生產，使價效比相對於傳統「機械」製造技術大幅度提高。
mems感測器的分類：
mems感測器的種類繁多，分類方法也很多
下面是按照工作原理分類如下：
MEMS感測器的應用及型別
mems感測器的應用及型別 mems感測器即微機電系統是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經過四十多年的發展，已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子 機械 材料 物理學 化學 生物學 醫學等多種學科與技術，具有廣闊的應用前景。截止到2010年，全世界有大約600余家單位從事...
MEMS感測器的產業鏈
mems感測器的產業鏈 一 mems簡介mems的全稱是微型電子機械系統利用半導體製造工藝和材料，將感測器 執行器 機械機構 訊號處理和控制電路等整合於一體的微型器件或系統，其內部結構一般在微公尺甚至奈米量級。mems主要包含兩個部分 感測器和執行器。與傳統的機械感測器相比，mems感測器具有體積小...
光敏感測器簡介
1 簡介 光敏感測器是最常見的感測器之一，它的種類繁多，主要有 光電管 光電倍增管 光敏電阻 光敏三極體 太陽能電池 紅外線感測器 紫外線感測器 光纖式光電感測器 色彩感測器 ccd和cmos影象感測器等。光感測器是目前產量最多 應用最廣的感測器之一，它在自動控制和非電量電測技術中占有非常重要的地位...