怎麼做應力應變曲線 半導體中的應力(1)

2021-10-14 06:19:56 字數 841 閱讀 7580

上一節我們講完了kane基下的8帶模型,也闡述了為什麼大家在實際中遇到的各種不同形式。如果考慮實際的半導體器件或者發光問題,實驗工作者經常會遇到應力的問題。實際的材料總是有一定的應力。怎麼考慮應力,這是乙個很複雜的問題。尤其是結合

事實上,應力作為乙個重要的半導體能帶工程的調控手段,學術界和半導體工業界對應力都有深入的研究。目前的cmos技術,已經不單是用si做電晶體了,更多的是用應變的sige合金。通過應力改變能帶和載流子的有效質量,從而提高器件的遷移率。對於光電子器件,應力改變了光躍遷的強度以及對應的吸收波長。這就意味著可以用來製作波長可調的探測器或者雷射器。接下來,我們詳細的展開。

晶體中的應變是由形變勢產生的,其定義來自對晶格的相對改變。簡單得說,以乙個二維晶格為例,如圖1 ,很容易能推廣到三維晶格。在較小的形變勢下,晶格發生了變化。設沒有形變時的單位晶格向量為

應變係數

是無量綱的,定義了晶格的形變。相應得,二階應變張量

圖 1: (a)沒有形變的晶格 (b)形變以後的晶格

假設晶格中的某一點的座標為

,在應力地作用下,這個點的座標變為

。在這更一般的情形下,應變張量可以寫成

其中 是沿

方向的晶格偏移。公式(2)中的應變張量是對稱的,即:

這六個應力分量

定義了完整的應變。

參考文獻

yongke sun, scott e. thompson, toshikazu nishida, strain effect in semiconductor , springer, 2010.

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