晶圓在低溫探針台中的安裝方式 導電安裝方法

2021-10-16 16:54:50 字數 557 閱讀 3999

對於需要在背面加門偏壓或接地的應用場合,需要使用導電介質(如銀漆、銀漿或碳漿)將樣品安裝在樣品固定器上。這些化合物通常由微公尺或亞微公尺級的銀或碳顆粒與粘合劑和分散在液體溶劑。對於粘接和熱傳遞的優化,薄粘接層是至關重要的。當需要去除樣品時,晶圓片通常可以通過施加剪下力來分離樣品,然後用溶劑(如油漆用丙酮,膏劑用水)擦拭樣品和樣品和樣品座上的殘留物。由於在銀漆中使用樹脂粘結劑和溶劑,與可能需要刮擦或拋光的漿料相比,使用和清理通常要容易得多完全清除殘留物。使用銀漿時,其導電顆粒通常在水中可移動,浸泡後可在晶圓片模具的其他關鍵區域重新沉積。

焊接大於50mm的晶圓片樣品時應避免使用銀漆。由於樣品、油漆和樣品支架之間的收縮、大面積銀漆層的微斷裂和分層可能會導致不同熱量的結果。與銀粉相比,在低溫條件下,微破裂的塗料層會損害導熱性,這種導熱性能會在更高的器件溫度下表現出溫差。除了與晶圓背面的電接觸外,與n-grease相比的一種測量方法,導電銀漆和銀漿拓寬了晶圓的溫度使用範圍。

許多銀油漆可使用高達375 k,而高效能銀碳粉在500k以上也可以使用。應該指出的是,在高溫下,這些漿料可以固化和更持久地附著在樣品座的基底上。檢查油漆和漿料資料表的安全性、低溫相容性和固化資訊。

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