半導體行業如何加強潔淨室微塵管理

2021-10-12 03:15:04 字數 1577 閱讀 8540

物質存在的形式是多種多樣的,比如固體、液體、氣體、等離子體等。通常情況下我們把導電性差的材料,如煤、人工晶體、琥珀、陶瓷等稱為絕緣體,而把導電性比較好的金屬如金、銀、銅、鐵、錫、鋁等稱為導體。另外對於介於導體和絕緣體之間的材料可以簡單的稱為半導體。與導體和絕緣體相比,半導體材料的發現是最晚的,直到20世紀30年代,當材料的提純技術改進以後,半導體的存在才真正被學術界認可。

不過半導體在積體電路、消費電子、通訊系統、光伏發電、照明、大功率電源轉換等領域都有應用,如二極體就是採用半導體製作的器件。大部分的電子產品,如計算機、移動**或是數字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關聯。無論從科技或是經濟發展的角度來看,半導體的重要性都是非常巨大的。越來越多的行業正在加快技術創新的步伐,這將推動半導體行業的持續增長。

從相關資料看出,2023年下半年以來全球半導體步入了新一輪「向陽」週期,同時在雙迴圈發展新格局下,行業將迎來更多的政策紅利。在未來,如汽車電子市場將強勁增長,成為繼消費電子之後又一重要驅動,促進產業鏈持續成長。毫無疑問,在尖端半導體的設計和製造方面,中國企業將會沿著進一步自給自足的道路前進。現有的國內半導體公司已經進行並將繼續進行的各種相關投資,最終將使我國形成乙個更加自給自足的生態系統。

半導體器件,尤其是高密度的積體電路,易受到各種汙染的損害。器件對於汙染的敏感度取決於較小的特徵圖形的尺寸和晶元表面沉積層的薄度。目前的量度尺寸已經降到亞微公尺級,這種非常小的器件尺寸導致器件極易受到由人員,裝置和工藝操作用使用的化學品所產生的存在於空氣中的顆粒汙染的損害。由於特徵圖形尺寸越來越小,膜層越來越薄,所允許存在的微粒尺寸也必須被控制在更小的尺度上。

一般的機械加工是不需要潔淨室的,因為加工解析度在數十微公尺以上,遠比日常環境的微塵顆粒為大。但進入半導體元件或微細加工的世界,微塵顆粒沾附在製作半導體元件的晶圓上便有可能影響到其上精密導線布局的樣式,造成電性短路或斷路的嚴重後果。為此,所有半導體製程裝置,都必須安置在隔絕粉塵進入的密閉空間中,這就是潔淨室的來由。

潔淨室的潔淨等級,有一公認的標準,以class 10為例,意謂在單位立方英呎的潔淨室空間內,平均只有粒徑0.5微公尺以上的粉塵10粒。所以class後頭數字越小,潔淨度越佳,當然其造價也越昂貴。其實嚴格的來講,潔淨室不僅僅是控制空氣中的微小顆粒,他要控制的是整個車間(潔淨室)裡面的微粒子,灰塵,細菌和微生物等等,除了要控制這些,潔淨室一般還得控制溫濕度等其他引數。

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半導體潔淨車間檢測粒子濃度等級儀器

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