半導體潔淨車間檢測粒子濃度等級儀器

2021-10-13 13:13:25 字數 1417 閱讀 7131

潔淨這個名詞和概念源於18世紀六十年代的歐洲醫學,當時的理解僅限於經噴灑消毒後可以控制創部感染率的處置室、手術室這類滅菌處理的工作環境。現代潔淨室雖然延用了這個名詞,但在定義和內涵上都與原有的概念有根本的不同,現代潔淨室形成一項專門技術,其歷史不過只有半個世紀。隨著科技的發展潔淨技術(cleanroom)是適應實驗研究與產品加工的精密化、微型化、高純度、高質量和高可靠性等方面要求而誕生的一門新興技術。

潔淨室的劃分是以單位體積內所含灰塵數來計算的,數目越小表示潔淨等級越高,一般每一級的劃分都有不同直徑灰塵數的要求,比如一般藥廠、汽車4s店,十萬級或萬級就夠了,但這對電子行業(尤其是微電子行業)僅僅是最低要求,比如半導體行業等級要求最低的測試間一般都不能高於1萬級。

潔淨車間在施工單位完成之後,甲方都行需要進行驗收的,驗收的時候就涉及到這個檢測潔淨度,看潔淨度是否達到要求。今潔淨度檢測是潔淨車間效能測試的核心,氣流測試、壓力測試等都只能在確認潔淨車間的潔淨度不受影響後才能正常進行。潔淨車間潔淨度檢測使用塵埃粒子計數器,可以選用光散射粒子計數器、凝結核粒子計數器、電子顯微鏡和光學顯微鏡,但目前用得較多的是光散射粒子計數器。由於此種粒子計數器在運用中可以對室內空氣的含塵量進行自動、連續、及時地對應測量,並且可以直接顯現瞬時的含塵濃度,也可以對不一樣粒徑的含塵濃度進行測量,運用簡略、便利、及時、靈活。

**潔淨室等級標準和國際標準iso14644一樣,都是根據懸浮粒子濃度這個唯一指標來劃分潔淨室(區)及相關受控環境中空氣潔淨度的等級,並且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1um~5.0um 範圍內呈累積分布的粒子群。**根據粒子徑,可以劃分為常規粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和巨集粒子(>5.0um)。塵埃粒子計數器有不同的規格,在國標gbj73-84中規定:對於100級的淨化車間,每次取樣量應大於或等於1l,對於1000~10000級的淨化車間,每次取樣量應大於或等於0.3l,對於10000級的淨化車間,每次取樣量應大於或等於0.1l。對於100級淨化車間,宜選用大流量粒子計數器進行測驗。

cw一rpc系列遠端雷射塵埃粒子計數器是賽納威研發的智慧型多點監控系統的終端裝置,可以通過rj45網路介面、wifi、485 (moudbus)等,將資料傳輸給pc終端,為使用者提供實時準確的車間微粒數量和淨化等級。該粒子計數器按照國際標準is014644-1,gmp和日本工業標準(jis)要求標定,其計數效率和準確性滿足jjf1190-2008《塵埃粒子計數器》校準依據,專業應用於電子行業、製藥車間、食品、藥品車間、半導體、光學或精密機械加工車間等潔淨環境;使用者可根據需要增加或減少控制終端,可實現7*24實時遠端自動監測,有助於企業提公升自動化、精細化管理。

粒子計數器裝置分落散布在車間各監控點位,由安裝了系統監控軟體的主控電腦控制各採集點的工作狀態;監控軟體可選擇設定測試粒徑、測試時間、取樣間隔、重新整理頻率、顯示單位、取樣模式和超限報警等,並可對測試歷史資料按需求進行查詢、統計、分析及繪製曲線圖,並可提供moudbus485通訊協議對接使用者物聯網平台,供使用者自行開發和應用。

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