半導體無塵車間粒子計數器的工作原理及應用分類

2021-10-12 07:21:02 字數 2478 閱讀 8323

積體電路(晶元)在電子學中是一種將電路(主要包括半導體裝置,也包括被動元件等)小型化的方式,並時常製造在半導體晶圓表面上,它是具有戰略地位的產品和技術,自從前段時間爆發出「中興事件」以來,眾多中國人才真正開始意識到了晶元的重要性,同時也知道了原來我們國家的晶元行業有多麼的脆弱。

以製造為主的晶元下游,是我國積體電路產業最薄弱的環節。由於工藝複雜,晶元製造涉及到從學界到產業界在材料、工程、物理、化學、光學等方面的長期積累,這些短板短期內難以補足。以往只要在整體產值上領先就可以稱之為晶元強國,不過如今遊戲規則已經改變,光是產值已經沒有用,在每乙個環節都有擁有優勢才能立於不敗之地。

在微電子行業的晶元生產過程中,對微粒的控制要達到分子級,否則生產就無法進行,或者生產出次品;在抗菌素的生產環境中,如果存在某些微生物,生產就不能正常進行。為了減少室內汙染對生產過程的影響,就必須通過潔淨技術來改善或解決室內汙染問題。可以肯定,在普通的生產車間想要控制整個微環境的懸浮粒子濃度,使其達到工藝要求的潔淨程度是完全不可能的。

只有建造潔淨室,採用密閉的結構,合理的氣流組織及合理的壓差,才能使其微環境內達到所要求的空氣潔淨度,滿足生產要求。無塵室對生產過程產生重要影響室內生產環境是制約工業生產,特別是高科技生產能否進行的關鍵因素之一;潔淨室的發展與現代工業、尖端技術密切相關。由於精密機械行業的環境要求(如陀螺儀、微型軸承)、半導體行業(如大規模積體電路生產),潔淨室技術的發展得到了推動。

無塵車間即無塵室,是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除,並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求範圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等效能之特性。主要應用於電子、半導體、食品、印刷包裝等行業等行業。隨著社會的發展越來越多的行業也需要無塵車間淨化工程。

粒子計數器的工作原理及應用分類

cw一rpc系列遠端雷射塵埃粒子計數器是賽納威研發的智慧型多點監控系統的終端裝置,可以通過rj45網路介面、wifi、485 (moudbus)等,將資料傳輸給pc終端,為使用者提供實時準確的車間微粒數量和淨化等級。該粒子計數器按照國際標準is014644-1,gmp和日本工業標準(jis)要求標定,其計數效率和準確性滿足jjf1190-2008《塵埃粒子計數器》校準依據,專業應用於電子行業、製藥車間、食品、藥品車間、半導體、光學或精密機械加工車間等潔淨環境;使用者可根據需要增加或減少控制終端,可實現7*24實時遠端自動監測,有助於企業提公升自動化、精細化管理。

粒子計數器裝置分落散布在車間各監控點位,由安裝了系統監控軟體的主控電腦控制各採集點的工作狀態;監控軟體可選擇設定測試粒徑、測試時間、取樣間隔、重新整理頻率、顯示單位、取樣模式和超限報警等,並可對測試歷史資料按需求進行查詢、統計、分析及繪製曲線圖,並可提供moudbus485通訊協議對接使用者物聯網平台,供使用者自行開發和應用。

粒子計數器的原理及分類

粒子計數器是一種利用光的散射原理進行塵粒計數的儀器。光散射和微粒大小、光波波長、微粒折射率及微粒對光的吸收特性等因素有關。但是就散射光強度和微粒大小而言,有乙個基本規律,就是微粒散射光的強度隨微粒的表面積增加而增大。這樣一定流量的含塵氣體通過一束強光,使粒子發射出散射光,經過聚光透鏡投射到光電倍增管上,將光脈衝變為電脈衝,由脈衝數求得顆粒數。根據粒子散射光的強度與粒徑的函式關係得出粒子直徑。這樣只要測定散射光的強度就可推知微粒的大小,就是光散射式粒子計數器的基本原理。

塵埃粒子計數器是用來測量空氣中微粒的數量及大小的儀器,從而評定為空氣潔淨度。粒子計數器根據不同的劃分標準,粒子計數器的分類。其分類也是不同的。粒子計數器從原理上可分為四大類:

常用的粒子計數器

塵埃粒子計數器的**比較昂貴,如果損壞返廠修理的話不僅會浪費我們大量的時間和金錢,還會導致我們的工作暫停影響工作進度。今天,賽納威就來告訴您使用塵埃粒子計數器的注意事項,減小裝置損壞的可能性。

1.首先自淨。塵埃粒子計數器操作前,應按要求先進行自淨。

2.檢查進口管。當進口管被蓋住或被堵塞,不要發動計數儀,防止損壞真空幫浦。

3.確認有無高壓減壓裝置。在沒有高壓減壓裝置,不要取樣壓縮空氣,所有的顆粒計數儀都應該在乙個大氣壓下操作。

4.預計產生的混合氣體。防止計量有可能產生反應的混合氣體(如氫氣和氧氣),這些氣體可能在計數器內產生**。

5.保持潔淨度。塵埃粒子計數器操作時應保持周邊環境的潔淨度,以減小對雷射感測器的損傷。

6.防止液體進入感測器。水、溶液或其他液體都不能從進口管進入感測器。

7.配備印表機注意事項。粒子計數器操作過程中假如需要外接印表機或銜接外接溫濕度感測器,需先封閉計數器;當執行列印操作時,印表機上須有列印紙,否剛會損傷列印頭。

8.輕拿輕放,愛惜裝置。粒子計數器在操作過程中就留意輕拿輕放,防止儀器損壞。

空氣粒子計數器是測試空氣塵埃粒子顆粒的粒徑及其分布的專用儀器,由顯微鏡發展而來,經歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計數器、雷射空氣粒子計數器、pcs奈米雷射空氣粒子計數器的過程,其中因雷射空氣粒子計數器測試速度快、動態分布寬、不受人為影響等各方面的優勢,而成為近年來很多行業的主流產品。

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